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40纳米低功耗逻辑工艺

 

 华力微电子的40纳米低功耗逻辑工艺采用尖端的浸润式微影、各种不同增强载子迁移率的技术、超浅型接面及超低介电系数,能进一步优化耗电量及效能。

 

 

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